8”SMIF标准机型外置电控箱设计，机架内部空间最大化通过国际半导体设备SEMI S2安全认证符合RoHS规范，洁净度最高可达ISO Class 1多种感测器侦测各项元件，即时监测设备状态条码、标签及字元辨识，完整追踪生产过程
8”SMIF标准机型
外置电控箱设计，机架内部空间最大化
通过国际半导体设备SEMI S2安全认证
符合RoHS规范，洁净度最高可达ISO Class 1
多种感测器侦测各项元件，即时监测设备状态
条码、标签及字元辨识，完整追踪生产过程
